沸石转轮中VOCs残留的处理办法
现在***内外对VOC的结尾管理办法有：冷凝、吸附、氧化、生物处理、吸收、等离子体净化等。以沸石资料为载体的吸附浓缩法处理VOC废气（沸石转轮）得到了较为广泛的运用。全***对VOCs污染物防治的要求和力度逐步加强，低浓度废气管理的沸石转轮吸附浓缩法成为了许多企业的***选管理计划。
在运用的进程中，因为VOCs在转轮内部的残留，会导致沸石转轮劣化，处理功率下降，要怎么避免和应对这样的情况呢？
下降沸石转轮设备内部VOCs残留***要从改进VOCs废气的进气质量和加强脱附功率两方面下手。
01. 废气预处理
废气预处理办法一般有除尘、除湿、除雾、除高沸物等。针对要处理的VOCs废气实践情况，需选取恰当的废气预处理办法。比方，半导体生产制作进程对生产场所的颗粒物有严厉的要求，生产场所一般为洁净车间。因而，有机废气中的颗粒物含量很少，一般无需进行除尘预处理。
比方，芯片制作业生产进程中运用的***要有机质料一般具有低沸点、易挥发的***色，但仍不扫除少数高沸点物质，如剥离液的***要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在高沸点物质的处理工序中增设冷凝、前道活性炭吸附等预处理设备，以避免VOCs废气中难脱附的高沸点物质进入沸石转轮。
高沸点VOCs进入废气管道后简单凝聚，然后使废气湿度增***。当进入沸石转轮体系的有机废气湿度***于80%时，将对疏水性沸石分子筛产生较为严峻的影响。因而，主张对高湿度废气增设枯燥除湿预处理设备，使得进入废水转轮体系的废气湿度坚持在安稳、可控的范围内。
02. 高温再生
依据对***内芯片企业展开的调研可知，芯片制作业常用的有机物质有异丙醇（沸点为82.45℃）、丙二醇单甲醚乙酸酯（沸点为146℃）；一起还含有少数的高沸点物质，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。
一般芯片制作业沸石转轮的再生温度为180-200℃，在此再生温度下，高沸点的二甘醇胺等物质将无法从沸石转轮上有用脱附，然后逐步积累在转轮内部。
通过对沸石转轮体系的高沸点物质集合情况展开的研讨，可知当沸石转轮体系运转1个月后，转轮内部的确有较很多的有机物积累，其有机物积累量即达6wt%。进行有用的高温脱附之后，其内部的有机物积累量可下降约40%～60%。因而，高温脱附可较为有用地去除沸石转轮内部积累的高沸点有机物质。
企业应依据废气的实践产生情况，剖析废气组成散布，剖析高沸点物质占比情况，以及废气的产生总量等内容，然后确认高温再生频次。较为适合的高温再生频次为2～3个月一次。
高温再生的温度也会影响高温脱附作用。若高温脱附温度选取过低，则高沸点物质仍无法有用脱除；若高温脱附温度选取过高，将对沸石分子筛的骨架结构产生必定的影响，然后下降其运用寿命。高温脱附温度宜选取300℃左右，而且，相应的沸石转轮内部配件均需选用可耐300℃高温的密封配件。
03. 水洗再生
芯片制作业常用的有机物质（如异丙醇、丙二醇单甲醚乙酸酯等）一般具有较***的水溶性，可选用水洗再生的方法去除沸石转轮内部集合的高沸点物质。
水洗再生可有用进步沸石转轮体系的管理功率，关于工厂，当水洗再生次数到达4～6次/年时，沸石转轮体系的管理功率可达95%～99%。因而，恰当添加定时水洗再生频次，可有用避免高沸点物质在沸石转轮内部的集合，坚持高管理功率。
因为沸石转轮一般选用无机粘合剂将分子筛涂覆在陶瓷纤维纸外表制作而成，故水洗时不只转轮不会产生龟裂形变，也不会产生因为分子筛掉落所导致的功能劣化、运用寿命缩短等问题。
可是，水洗时需求留意水质情况，若其间很多含有钙、镁等离子，将可能在沸石内部构成碳酸盐，堵塞沸石转轮的蜂窝状孔道；水中所含微量重金属物质、氯等也会毒化沸石。
值得留意的是，并非一切沸石转轮原料均耐水洗，企业应在水洗再生之前，向沸石转轮设备的制作厂商做***相关的咨询作业。
04. 高压空气吹扫
企业在停机检修理期间，选用高压空气对沸石转轮进行吹扫。但是，高压空气吹扫一般只可铲除沸石转轮外表附着的尘埃，而VOCs有机质一般吸附在分子筛孔道内部，无法得到有用的脱除，还需与上述其他处理方法合作选用。
