沸石转轮浓缩+直燃式燃烧炉废气处理系统改造案例 一、案例背景 案例工厂主要工序为集成电路制造，分为薄膜区，黄光区，蚀刻区，扩散区及化学研磨区等5个工作区。 厂内针对各工

有了沸石转轮设备让整个工程的操作愈加简单便捷 沸石转轮设备体积***其对废气的处理作用而广受***评，越沸石浓缩转轮生产来越多的被各行各业的排污企业所运用，它也逐渐成为了

沸石分子筛转轮：RTO组合工艺***点 1、分子筛转轮+RTO组合工艺***点： 氧化温度~800℃ 选用蓄热陶瓷作为换热器，换热效率95% 处理效率90% ~ 99% 占地面积相对适中 ***耐温~1000℃ 可处理含

沸石转轮+蓄热式燃烧 经过预处理的废气进入沸石浓缩转轮+蓄热式燃烧炉体系，使用沸石分子筛的多孔吸附性将有机物吸附浓缩，浓缩后的有机物经RTO高温（750℃）将有机组分中的C、

沸石转轮吸附+CO催化装置 沸石转轮冷却过程 废气经过过滤后，部分废气（浓缩比1：12）先进入转轮的冷却区域，将脱附后的高温沸石转轮冷却，冷却废气温度提高到120℃左右。 沸石转